毗连压阻式压力传2020欧洲杯竞猜app感器的接线道理图

发布于2021-05-02 11:00    文章来源:网络整理

毗连压阻压力传感器的接线道理图

毗邻压阻式压力传2020欧洲杯竞猜app感器的接线原理图

藤仓自动化

2020-12-20 23:32

毗邻压阻式压力传2020欧洲杯竞猜app感器的接线原理图


压阻压力传感器,固体受力后电阻率产生变革的现象称为压阻效应。


压阻式压力传感器是基于半导体质料(单晶硅)的压阻效应道理制成的传感器,就是操作集成电路工艺直接在硅平膜片上按必然晶向制成扩散压敏电阻,当硅膜片受压时,膜片的变形将使扩散电阻的阻值产生变革。硅平膜片上的扩散电阻凡是组成桥式丈量电路,相对的桥臂电阻是对称部署的,电阻变革时,电桥输出电压与膜片所受压力成对应干系。    


为一种压阻式压力传感器的布局示意图,硅平膜片在圆形硅杯的底部,其双方有两个压力腔,别离输入被测差压或被测压力与参考压力。髙压腔接被测压力,低压腔与大气连通或接参考压力。


膜片上的两对电阻中,一对位于受压应力区,另一对位于受拉应力区,当压力差使膜片变形,膜片上的两对电阻阻值发变革,使电桥输出相应压力变革的信号。为了赔偿温度效应的影响,欧洲杯投注app ,一般还可在膜片上沿对压力不敏感的晶向生成一个电阻,这个电阻只感觉温度变革,可接入桥路作为温度赔偿电阻,以提高丈量精度。    


压阻式压力传感器的特点:是敏捷度高,频率响应高;丈量范畴宽,可测低至10Pa的微压到高至60Mpa的高压;精度高,事情靠得住,其精度可达±0.2%~0.02%;易于微小型化,今朝海内出产出直径φ1.8~2mm的压阻式压力传感器。